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大族激光:公司自主研發(fā)的光刻機項目分辨率較低,仍主要聚焦在分立器件、LED等領域的應用

每日經(jīng)濟新聞 2023-01-03 14:29:09

每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:你好,ASML的光刻機使用了德國最優(yōu)秀的激光公司通快生產(chǎn)的光源,我國上海微電子的光刻機光源是否選用了貴公司的產(chǎn)品?

大族激光(002008.SZ)1月3日在投資者互動平臺表示,公司自主研發(fā)的光刻機項目分辨率較低,仍主要聚焦在分立器件、LED等領域的應用,無法應用于芯片相關加工環(huán)節(jié)。

(記者 畢陸名)

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